申请/专利权人:华侨大学 - 专利清单
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| 申请日:2021-01-25 |
发明/设计人:余卿;董声超;尚文键;程方;张雅丽;王翀;肖泽祯;王寅;张一 | 公开(公告)日:2025-03-11 |
代理机构:厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) | 公开(公告)号:CN112857264B |
代理人:陈晓思 | 主分类号:G01B11/25 |
地址:361000 福建省泉州市城华北路269号 | 分类号:G01B11/25;G01B9/04 |
专利状态码:有效-授权 | 优先权: |
法律状态:2025.03.11#授权 2021.06.15#实质审查的生效 2021.05.28#公开 |
摘要:本发明涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统,包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块,至运动载物模块,再斜向上反射至反射镜,二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面,不同波长的光聚焦到不同的轴向高度,在被测物表面形成光斑,光线采集计算模块接收和分析光波信号,移动被测物,光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统和检测方法适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌,如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。 |
主权项:1.一种简易的斜照明式彩色共聚焦检测方法,应用于一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统,所述测量系统包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块;所述复色点光源模块发出的入射光斜向下透过所述色散镜头模块,斜向下射出至所述运动载物模块,然后斜向上反射至所述反射镜,再斜向下二次反射至所述光线采集计算模块;所述复色点光源模块的发光口朝向所述色散镜头模块,所述运动载物模块设置于所述色散镜头模块的出射端外焦点上;所述运动载物模块包括载物台,用于装载被测物;所述光线采集计算模块还连接于所述运动载物模块;其特征在于,包括以下步骤:/nP1,所述复色点光源模块射出复色光束进入所述色散镜头模块后,先成为准直光,再折射出所述色散镜头模块,不同波长的光聚焦到入射光轴的轴向不同位置处,移动所述运动载物模块,使入射光聚焦于所述运动载物模块上装载的被测物表面形成光斑;/nP2,所述光斑在被测物的表面反射至所述反射镜,再经过反射镜二次反射至所述光线采集计算模块;/nP3,所述光线采集计算模块采集被测物表面反射的光斑的波长信息,再通过波长信息结合运动载物模块的位移信息计算出被测物表面的相对高度数据;/nP4,重复同步移动运动载物模块和反射镜,使被测物表面各处在入射光轴方向上的不同位置处显示出不同颜色的光斑,光斑在被测物的表面反射至所述反射镜,再经过反射镜二次反射至所述光线采集计算模块,进行被测物表面各位置图像信息采集,将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三维点云建模生成被测物表面形貌图像。/n |